菲希爾x射線熒光鍍層厚度及ROSH檢測(cè)儀/X-RAY射線光譜測(cè)厚儀/X射線分析儀FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-SDD是一款應(yīng)用廣泛的能量色散型 X 射線熒光鍍層測(cè)厚及材料分析儀。它特別適用于測(cè)量和分析超薄鍍層以及經(jīng)行痕量分析。X 射線熒光鍍層測(cè)厚及材料分析儀,配有可編程運(yùn)行的 X/Y 軸工作臺(tái)和 Z 軸升降臺(tái),用于自動(dòng)測(cè)量超薄鍍層厚度或進(jìn)行痕量分析。
FISCHERSCOPE ®
X-RAY XDV ®-SDD特點(diǎn):
配備了高性能的X射線管和大窗口的硅漂移探測(cè)器(SDD),能高精度地測(cè)量zui薄的鍍層
極耐用的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),能以極出色的長(zhǎng)期穩(wěn)定性用于連續(xù)測(cè)量
可編程XY平臺(tái)和Z軸,用于自動(dòng)化連續(xù)測(cè)量
擁有實(shí)時(shí)的視頻顯示和輔助激光點(diǎn),使得樣品定位變得快速而簡(jiǎn)便
FISCHERSCOPE ®
X-RAY XDV ®-SDD應(yīng)用:
1、鍍層厚度測(cè)量
測(cè)量極薄鍍層,如電子和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中厚度小于0.1um的Au和Pd鍍層
測(cè)量汽車(chē)制造業(yè)中的硬質(zhì)涂層
光伏產(chǎn)業(yè)中的鍍層厚度測(cè)量
2、材料分析
電子、包裝和消費(fèi)品中按照RoHS, WEEE, CPSIA等指令對(duì)有害物質(zhì)(如重金屬)進(jìn)行鑒別
分析和其他貴金屬及其合金
測(cè)定功能性鍍層的組分,如NiP鍍層中的P含量
菲希爾x射線熒光鍍層厚度及ROSH檢測(cè)儀/X-RAY射線光譜測(cè)厚儀/X射線分析儀FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-SDD典型的應(yīng)用領(lǐng)域有:
? 分析超薄鍍層, 如:厚度≤ 0.1 μm 的 Au 和 Pd 鍍層
? 印刷線路板上 RoHS 及 WEEE 要求的痕量分析
? 成分分析
? 測(cè)量電子工業(yè)或半導(dǎo)體工業(yè)中的功能性鍍層
? 分析復(fù)雜的多鍍層系統(tǒng)
? 全自動(dòng)測(cè)量,如:用于質(zhì)量控制領(lǐng)域
為了使每次測(cè)量都能在zui理想的條件下進(jìn)行, XDV-SDD 配備了各種可電動(dòng)切換的準(zhǔn)直器及基本濾片。的硅漂移接收器能夠提供很高的分析精度及探測(cè)靈敏度。由于有了大尺寸的準(zhǔn)直器以及超高速脈沖處理器,儀器能處理非常高的計(jì)數(shù)率。
出色的準(zhǔn)確性及長(zhǎng)期的穩(wěn)定性是 FISCHER X 射線儀器的共有特點(diǎn),因此也大大減少了重新校準(zhǔn)儀器的需要,為您節(jié)省時(shí)間和精力。由于采用了 FISCHER 的完全基本參數(shù)法,無(wú)論是鍍層系統(tǒng)還是固體和液體樣品,都能在沒(méi)有標(biāo)準(zhǔn)片的情況下進(jìn)行準(zhǔn)確分析和測(cè)量。
菲希爾x射線熒光鍍層厚度及ROSH檢測(cè)儀/X-RAY射線光譜測(cè)厚儀/X射線分析儀FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-SDD設(shè)計(jì)理念
XDV-SDD 設(shè)計(jì)為界面友好的臺(tái)式測(cè)量?jī)x器。它配備了高精度、可編程運(yùn)行的X/Y 軸工作臺(tái)和馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的 Z 軸升降臺(tái)。當(dāng)具有防護(hù)功能的測(cè)量門(mén)開(kāi)啟時(shí),樣品臺(tái)能自動(dòng)移出到放置樣品的位置。通過(guò)激光點(diǎn),可以快速對(duì)準(zhǔn)需要測(cè)量的位置。儀器內(nèi)置帶有圖像放大及十字線功能的視頻系統(tǒng),簡(jiǎn)化了樣品放置的過(guò)程,并可對(duì)測(cè)量點(diǎn)位置進(jìn)行精-確微調(diào)。所有的儀器操作,以及測(cè)量數(shù)據(jù)的計(jì)算和測(cè)量數(shù)據(jù)報(bào)表的清晰顯示,都可以
通過(guò)功能強(qiáng)大而界面友好的 WinFTM ® 軟件在電腦上完成。
FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV-SDD 型鍍層測(cè)厚及材料分析儀作為受完全保護(hù)的儀器,型式許可完全符合德國(guó)‘‘Deutsche R?ntgenverordnung-R?V‘‘法規(guī)的規(guī)定。
菲希爾x射線熒光鍍層厚度及ROSH檢測(cè)儀/X-RAY射線光譜測(cè)厚儀/X射線分析儀FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-SDD通用規(guī)范
1、用途:能量色散型 X 射線鍍層測(cè)厚及材料分析儀 (EDXRF) ,用來(lái)測(cè)量超薄鍍層、微小結(jié)構(gòu),合金元素的痕量分析。
2、可測(cè)量元素范圍:zui多可同時(shí)測(cè)定從鋁(13)到鈾(92)中的 24 種元素
形式設(shè)計(jì):測(cè)量門(mén)向上開(kāi)啟的臺(tái)式儀器,側(cè)面開(kāi)槽設(shè)計(jì);馬達(dá)驅(qū)動(dòng)、可編程運(yùn)行的 X/Y 軸工作和Z軸升降臺(tái);馬達(dá)驅(qū)動(dòng)、可切換的準(zhǔn)直器和基本濾片;視頻攝像頭和激光點(diǎn)(1 級(jí)),用于樣品定位
3、測(cè)量方向:從上往下
菲希爾x射線熒光鍍層厚度及ROSH檢測(cè)儀/X-RAY射線光譜測(cè)厚儀/X射線分析儀FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-SDD其他規(guī)格參數(shù):
1、X射線源
X 射線源:帶鈹窗口的微聚焦鎢管
高壓分三檔:10 kV,30 kV,50 kV
孔徑(準(zhǔn)直器):標(biāo)準(zhǔn)(524-166):? 0.2 mm; ? 0.6 mm;? 1 mm;? 3 mm
可選(604-971):? 0.2 mm; 0.15X0.5 mm;0.05X0.3 mm;? 1 mm
可選(604-972):? 0.1 mm; ? 0.3 mm;? 1 mm;? 3 mm
基本濾片 :6 個(gè)可切換的基本濾片(鎳;無(wú);鋁 1000 μm;鋁 500 μm;鋁 100μm;密拉 ® 100μm)
測(cè)量點(diǎn)尺寸 :取決于測(cè)量距離和孔徑大小,測(cè)量點(diǎn)尺寸約比孔徑大 10%,實(shí)際的測(cè)量區(qū)域大小與視頻窗口中顯示的相一致,zui小的測(cè)量點(diǎn)大小約為 ? 0.25 mm。
2、X射線的探測(cè)
射線接收器:采用珀耳帖法冷卻的硅漂移接收器
能量分辨率:≤140 eV (Mn 元素 Kα 線的半高寬)
測(cè)量距離:0 ~ 80 mm,使用專(zhuān)-利保護(hù)的 DCM 測(cè)量距離補(bǔ)償法
3、樣品定位
視頻系統(tǒng):高分辨 CCD 彩色攝像頭,沿著初級(jí) X 射線光束方向觀察測(cè)量位置;十字線(帶有經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的刻度和測(cè)量點(diǎn)尺寸),可調(diào)節(jié)亮度的 LED 照明;激光點(diǎn)(1 級(jí))用于精-確定位樣品。
放大倍數(shù):40x ---- 160x
聚焦:自動(dòng)或手動(dòng)聚焦功能
手動(dòng)聚焦焦面范圍:0 ~ 80 mm
4、工作臺(tái)
形式設(shè)計(jì):快速、可編程運(yùn)行的 X/Y 軸工作臺(tái)(舌狀進(jìn)樣功能)
可用樣品放置面積 :寬 x 深: 370 mm x 320 mm
樣品zui大重量 :5 kg,如降低精度可達(dá) 20kg
樣品zui大高度 :140 mm
zui大移動(dòng)距離 :X/Y 軸方向:250 mm x 250 mm;Z 軸:140 mm
X/Y 軸平臺(tái)zui快移動(dòng)速度 :60 mm/s
X/Y 軸平臺(tái)移動(dòng)重復(fù)精度 :?jiǎn)蜗?/span>zui大誤差≤ 5 μm;一般誤差≤ 2 μm
5、電氣參數(shù)
電源要求 :交流 220 V 50 Hz
能耗 :zui大為 120 W(不含計(jì)算機(jī))
保護(hù)等級(jí) :IP40
6、尺寸規(guī)格
外部尺寸:寬 x 深 x 高[mm]:660 x 835 x 720
重量 :大約為 140 kg
內(nèi)部測(cè)量室尺寸 :寬 x 深 x 高[mm]:580 x 560 x 145
7、環(huán)境要求
使用時(shí)溫度:10 °C ---- 40 °C
存儲(chǔ)或運(yùn)輸時(shí)溫度 :0 °C ---- 50 °C
空氣相對(duì)濕度 :≤ 95 %,無(wú)結(jié)露
8、計(jì)算單元
計(jì)算機(jī):Windows®-PC
軟件:標(biāo)準(zhǔn):FISCHER WinFTM ® BASIC 帶有 PDM ® 功能
可選:FISCHER WinFTM ® SUPER
9、執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)
CE 合格標(biāo)準(zhǔn):EN 61010
X 射線標(biāo)準(zhǔn):DIN ISO 3497 和 ASTM B 568
批準(zhǔn) :作為受完全保護(hù)的儀器,符合德國(guó)’’Deutsche R?ntgenverordnung-R?V‘‘法令的規(guī)定
10、訂貨號(hào)
FISCHERSCOPE X-RAY
XDV-SDD 604-447
可按要求,提供額外的 XDV 型產(chǎn)品更改和 XDV儀器技術(shù)咨詢(xún)
其他測(cè)試儀器:超聲高溫耦合劑、鐵素體測(cè)試儀。